2.1.1 Einteilung der Vakuumpumpen

Bei Vakuumpumpen unterscheidet man gasfördernde und gasbindende Vakuumpumpen. Während Erstere zeitlich unbeschränkt einsatzfähig sind, haben Letztere eine beschränkte Gasaufnahmekapazität und müssen nach einem bestimmten prozessabhängigen Rhythmus regeneriert werden.

Abb. 2.1: Übersicht Vakuumpumpen

Die gasfördernden sogenannten Gastransferpumpen, werden in Verdrängerpumpen und kinetische Vakuumpumpen eingeteilt. Verdrängerpumpen fördern das Gas aus abgesperrten Räumen in die Atmosphäre oder in eine nachgeschaltete Pumpstufe. Kinetische Pumpen hingegen fördern das Gas durch Beschleunigung in Pumprichtung. Dies geschieht entweder anhand eines mechanischen Antriebs oder durch einen gerichteten Dampfstrahl, der am Ende der Pumpstrecke kondensiert wird. Gasbindende Vakuumpumpen binden das Gas entweder mittels Getterung an ein besonders aktives Substrat oder sie kondensieren das Gas bei geeigneter Temperatur.