F5, Perfluorpolyether, 0,5 l F5, Perfluorpolyether, 1 l DCU 001, Display Control Unit HPU 001, Handheld Programming Unit SAS 40, DN 40 ISO-KF, Polyesterfilter STP 040, Staubabscheider, 1-stufig für leichte Verunreinigungen STR 040, Staubabscheider, 2-stufig für mittlere Verunreinigungen STZ 040, Staubabscheider, 2-stufig für schwere Verunreinigungen Reduzierstück, Edelstahl, DN 50 - 40 ISO-KF Zentrierring mit integriertem Feinsieb, DN 40 ISO-KF Zentrierring mit Feinsieb, FPM/Edelstahl, DN 50 ISO-KF Spannring für Elastomerdichtung, DN 32-40 ISO-KF Spannring für Elastomerdichtung, DN 50 ISO-KF

OnTool^TM DryPump

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Kompakte, robuste Trockene Pumpe mit einem Saugvermögen von 84 m³/h. Besonders für den Einsatz in der Halbleitertechnik, für Laboranwendungen sowie für Anwendungen in der Beschichtungsindustrie geeignet.

Zubehör OnTool DryPump

Anwendungen

Physikalische Abscheidung (PVD)
Chemische Abscheidung (CVD)
Ätzen
EUV-Lithografie
Plasmabeschichtung
Thermisches Aufdampfen
Laboranwendungen
Vakuumofen
Schleusen
Solarzellenbeschichtung

Kundennutzen

Kompakte, mehrstufige Trockene Pumpe
Signifikante Kosteneinsparungen durch den Einbau direkt in der Anlage
Hohe Prozessdurchsätze, kleine Leckraten
Reduzierte Kontamination durch kontrolliertes Anpumpen im Schleusenbetrieb
Keine aufwendige Vorvakuumleitungen erforderlich
Hohe Betriebssicherheit durch berührungslose und verschleißfreie Dichtungstechnik

Hinweis

P = Prozessversion, Abpumpen von korrosiven und kondensierenden Medien
L = Lightversion, Abpumpen von Schleusen und nicht korrosiven Medien

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