Für die Analyse von positiven oder negativen Ionen werden spezielle Ionenoptiken mit dem Massenspektrometer QMG 422 kombiniert. Soll neben einer massenspektrometrischen Analyse auch die Energie der Teilchen quantifiziert werden, so kommt der Plasmamonitor PPM zum Einsatz.

• Ionenstrahlanalyse, SIMS
• Ionenstrahlanalyse, Endpunktdetektion

• Plasmamonitoring

Anwendungen

• Für SIMS Anwendungen
• Massenbereiche 1 bis 2048 amu
• Oberflächenanalyse
• Plasmadiagnostik mit Energiefilter

Kundennutzen

• Nachweis von positiven und negativen Ionen
• Messung von Radikalen
• Großer dynamischer Bereich
• Hohe Messgeschwindigkeit