Vakuumanalyse
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Oftmals ist es nicht ausreichend den Druck in einem Vakuumprozess zu kennen. In vielen Fällen ist es ebenso wichtig über die Zusammensetzung des Restgases Bescheid zu wissen. Zur Vakuumanalyse werden in der Regel die Massensprektrometer eingesetzt. Mit diesen Instrumenten können Verunreinigungen in der Prozesskammer gefunden werden, die die Produktqualität negativ beeinträchtigen. Das Produktprogramm ist unterteilt nach den typischen Anwendungen und Druckbereichen.
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